清华大学材料科学与工程研究院《材料科学论坛》

学术报告

报告题目：聚焦离子束技术在微电子和材料分析领域的应用

报告人：达晓冬，纳瑞科技（北京）有限公司

报告时间：2019年1月14日（星期一）下午3:00

地点：清华大学主楼11区（东配楼）二层，电子显微镜中心228房间

联系人：钟虓龑老师 62782347

报告摘要：

聚焦离子束（Focused Ion Beam）作为一个非常有效的微加工和微观分析手段越来越多被应用于工业和科研领域。已经成为很多微观分析领域必不可少的手段。FIB在不同场景的应用具有很大的优势，同时这个技术也有局限性。针对FIB在微电子IC产业链各个环节的典型应用案例我们会做一个介绍。同时会介绍一些FIB技术的原理和局限性所造成的设备形态特征差别。如何根据不同应用场景选择合适的设备对终端用户非常重要，根据经验会和大家做一个分享。

报告人简历：

达晓冬

1980年到1984年 兰州大学，理论物理专业，学士

1984年到1987年 中国空间技术研究院，兰州物理研究所获真空物理专业理学硕士

1987年到1989年 中国空间技术研究院，兰州物理研究所工作从事空间微重力研究工作

1989年到 1991年 德国吉森大学物理研究所从事中西德空间微重力合作研究工作。

1991年到1992年 德国吉森大学物理研究所开始物理博士学习，专业方向：载人火星计划

1992年到1995年 美国内华达州立大学，物理系，攻读物理博士，专业方向：原子物理 （提前以理学硕士毕业）

1995年到2004年 美国FEI公司总部工作。先后担任售后服务工程师，系统工程师，资深应用 工程师。

2004年回国开展FIB技术研发和技术应用服务业务， 成立纳瑞科技(北京)有限公司任总经理至今。已经在全国各个IC产业聚居地建立了8个分析实验室，为IC设计和IC生产企业提供FIB技术应用服务。目前具备国内最高端芯片线路修改能力。